วิธีการจัดวางอุปกรณ์ให้ประหยัดพื้นที่ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงโดยมีการปล่อยก๊าซน้อยที่สุด

สภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศก่อให้เกิดปัญหาอะไรบ้าง?

การปล่อยก๊าซก่อให้เกิดปัญหาต่างๆ มากมาย

"การปล่อยก๊าซ" เป็นหนึ่งในปัญหาสำคัญที่สุดของกระบวนการผลิตในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
ปรากฏการณ์นี้เกิดขึ้นกับส่วนประกอบต่างๆ เช่น อุปกรณ์จับยึด ชิ้นส่วน กาว และสายไฟ เมื่อใช้งานในสภาพแวดล้อมที่เป็นสุญญากาศ

ก๊าซที่ระเหยออกมาจากวัสดุจะเกาะติดกับผนังด้านในของห้องสุญญากาศและชิ้นงาน ทำให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น:

• ผลผลิตลดลงเนื่องจากสินค้าชำรุด
• ปัญหาด้านคุณภาพ
• ต้นทุนการตรวจสอบที่เพิ่มขึ้น

ดังนั้น จึงเป็นสิ่งสำคัญที่จะต้องเลือกและนำเครื่องมือ ชิ้นส่วน และวัสดุที่มี "การปล่อยก๊าซต่ำ" มาใช้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ

จำเป็นต้องมีการออกแบบสำหรับพื้นที่ขนาดเล็ก

เนื่องจากอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และห้องสุญญากาศมีพื้นที่ภายในจำกัด นักออกแบบจึงจำเป็นต้องออกแบบโดยใช้พื้นที่จำกัดและเลือกใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ

ดังนั้น "จะออกแบบอุปกรณ์โดยไม่ให้เกิดการปล่อยก๊าซในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีพื้นที่จำกัดได้อย่างไร" จึงอาจเป็นหนึ่งในประเด็นสำคัญในการผลิตในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงมีคุณสมบัติอะไรบ้าง?

 

แนะนำคุณสมบัติ 3 ประการของสวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงซีรีส์ GN:

ผลิตภัณฑ์นี้คือ "สวิตช์แบบสัมผัส" ที่ส่งสัญญาณเปิด/ปิดโดยการสัมผัสกับตัวจับยึดหรือชิ้นงาน
อุปกรณ์เหล่านี้มักใช้กับอุปกรณ์และหุ่นยนต์ทุกประเภท เพื่อกำหนดตำแหน่งและระบุตำแหน่งเริ่มต้น

ต่อไปนี้คือคุณสมบัติสามประการของอุปกรณ์ซีรีส์ GN ที่ใช้งานร่วมกับระบบสุญญากาศได้

คุณสมบัติที่ 1: ตัวสวิตช์ทำจากวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ
คุณสมบัติที่ 2: ขนาดกะทัดรัดเป็นพิเศษ ช่วยประหยัดพื้นที่
คุณสมบัติที่ 3: การประกอบชิ้นส่วนดำเนินการในห้องปลอดเชื้อเพื่อป้องกันการปนเปื้อน (แคตตาล็อก)

คุณสมบัติที่ 1: ตัวสวิตช์ทำจากวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง
ผลิตจากวัสดุที่ช่วยลดการเกิดการระเหยของก๊าซ ซึ่งเป็นสาเหตุทั่วไปของการปนเปื้อน โดยแทบไม่มีก๊าซระเหยเกิดขึ้นเลยแม้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงระดับ 10-5 Pa

วัสดุที่ใช้สำหรับตัวสวิตช์มีดังต่อไปนี้

[วัสดุตัวรถ]
• SUS304
•SUS420
• บีเอสบีเอ็ม



[ชิ้นส่วน เรซิน ]
“PEEK” เป็นวัสดุที่ใช้สำหรับชิ้นส่วนเรซินภายในสวิตช์ที่ใช้งานร่วมกับระบบสุญญากาศได้
วัสดุนี้มีการปล่อยก๊าซน้อยมาก มีสารประกอบอินทรีย์ระเหยง่ายและไอออนโลหะในปริมาณต่ำมาก ทำให้สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อมสุญญากาศได้โดยไม่ต้องกังวลเรื่องการปนเปื้อน

[สายเคเบิลตัวถัง]
โดยใช้วัสดุ "PTFE"

[กาว: Torr Seal]
ใช้กาวที่มีการระเหยก๊าซต่ำ “Torr Seal”

[สารประกอบอื่นๆ]
สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง ไม่ใช้จาระบี สารหล่อลื่น หรือน้ำมันใดๆ



แคตตาล็อก

คุณสมบัติที่ 2: ขนาดกะทัดรัดเป็นพิเศษ ช่วยประหยัดพื้นที่

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงซีรีส์ GN เป็นสวิตช์กำหนดตำแหน่งขนาดกะทัดรัดเป็นพิเศษ ซึ่งสามารถติดตั้งได้ง่ายในพื้นที่แคบๆ

คุณสมบัติที่ 3: ปล่อยก๊าซน้อยแม้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงระดับ 10-5 Pa

ตัวเรือนสวิตช์ทำจากวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ ซึ่งสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง (10-1 Pa ถึง 10-5 Pa)
กระบวนการสุญญากาศสูงที่ใช้กันทั่วไปในอุตสาหกรรม ได้แก่ การตกตะกอนด้วยสุญญากาศ การสปัตเตอร์ และอุปกรณ์แปรรูปฟิล์มบาง

※สภาพแวดล้อมปกติ ~ สภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง: HV: สุญญากาศสูง (10-1Pa~10-5Pa)

คุณสมบัติที่ 4: ประกอบในห้องปลอดเชื้อเพื่อป้องกันการปนเปื้อน

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงประกอบขึ้นภายใต้เงื่อนไขต่อไปนี้เพื่อป้องกันการปนเปื้อน
• ชิ้นส่วนสำหรับประกอบจะถูกทำความสะอาดก่อนนำไปใช้งาน
• การประกอบชิ้นส่วนดำเนินการในห้องปลอดเชื้อ
• ใช้ถุงมือยาง (ปราศจากแป้ง) ในการประกอบแคตตาล็อก

การเลือกใช้สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงประเภทต่างๆ

มีตัวเลือกคุณสมบัติเฉพาะห้าแบบต่อไปนี้ให้เลือก

• รูปทรง การสัมผัส
• ทิศทางออกของสายเคเบิล
• ความยาว สายเคเบิล
• โหมด การทำงาน : หน contacts ปกติเปิด (NO) หรือ หน้าสัมผัสปกติปิด (NC)
• เส้นผ่านศูนย์กลาง/ สโตรก





สเปก ที่ 1: รูปทรงของ การสัมผัส

สวิตช์จะส่งสัญญาณเมื่อพื้นผิวสัมผัสถูกสัมผัส

ควรเลือกรูปทรงของหัวสัมผัสให้เหมาะสมกับมุมที่ต้องการสัมผัสกับวัตถุ
สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงมีรูปทรงหน้าสัมผัสให้เลือกสองแบบดังต่อไปนี้

(1) การสัมผัส ตรง
(2) การสัมผัส ชนิดมุมเอียง


(1) เมื่อสัมผัสหน้าสัมผัสจากด้านหน้า: " ชนิด หน้าสัมผัส ตรง " (ซีรี่ส์ PT)
*หมายเหตุเตือน
ไม่สามารถใช้ขั้วต่อแบบ ตรง ได้หากมีการสัมผัสในมุมเอียง เนื่องจากจุดสัมผัสหรือชิ้นส่วนภายในอาจเสียหายได้
โปรดจัดวางอุปกรณ์ในลักษณะที่ทำให้มั่นใจได้ว่าการสัมผัสจะเกิดขึ้นจากทิศทางตรงๆ เสมอ

(2) เมื่อสัมผัสถูกสัมผัสในมุม: “ ชนิด สัมผัส ชนิดมุมเอียง ” (ชุดสัมผัสแบบลูกบอล BP)
• ชิ้นงานที่มีพื้นผิวสัมผัสโค้ง
• แผง LCD ขนาดใหญ่ หรือชิ้นงานแผงวงจรที่อาจบิดงอได้
ในกรณีข้างต้น ให้เลือกสวิตช์แบบหน้าสัมผัสเอียง (ซีรีส์ BP) ที่มีหน้าสัมผัสแบบลูกบอล

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง ชนิด สัมผัสลูกบอลมีให้เลือก 2 ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางและระยะชัก
• ระยะชักของชนิด M5: 0.8 มม.
• ความยาวเกลียวเกลียว M16: 2.9 มม.

แคตตาล็อก

สเปก ที่ 2: ทิศทางออกของสายเคเบิล

เลือกทิศทางการเดินสายสวิตช์จาก 2 ประเภทต่อไปนี้

(1) ตรง
(2) 90°(R)

เลือกทิศทางตามวิธีการที่คุณต้องการจัดการสายเคเบิลภายในอุปกรณ์หรือห้องสุญญากาศที่มีพื้นที่จำกัด

สเปก 3: ความยาว สายเคเบิล

ความยาวสายเคเบิลมาตรฐานสำหรับ สวิตช์ ความต้านทานสุญญากาศสูง คือ 0.5 เมตร

สามารถเลือกความยาวได้จากตัวเลือกสามประเภทต่อไปนี้

《ตัวเลือก ความยาวสายเคเบิล》
• 1 เมตร
• 3 เมตร
• 5 เมตร

สเปก ที่ 4: โหมด การทำงาน

มี โหมดการทำงาน 2 โหมด คือ ปกติเปิด และ ปกติปิด

จุดการทำงานของสัญญาณจะแตกต่างกันระหว่างโหมดปกติเปิดและโหมดปกติปิด

・หน contacts ปกติเปิด (NO):
จะมีสัญญาณส่งออกมาเมื่อสวิตช์สัมผัสกับพื้นผิวสัมผัสและถูกกดลงเป็นระยะ 0.2 ถึง 0.3 มิลลิเมตร
・หน้าสัมผัสปกติปิด (NC):
0 คือ ระยะทางก่อนการส่งสัญญาณ (ระยะทางที่เดินทางก่อนที่สัญญาณจะเปลี่ยน) สัญญาณจะถูกส่งออกเมื่อสัมผัสกับเป้าหมายแล้ว

500 µs (ค่ามาตรฐาน) ละเอียดคุณสมบัติ:

• รูปทรง การสัมผัส
• ทิศทางออกของสายเคเบิล
• ความยาว สายเคเบิล
• โหมด การทำงาน : หน contacts ปกติเปิด (NO) หรือ หน้าสัมผัสปกติปิด (NC)
• แคตตาล็อกเส้นผ่านศูนย์กลาง

《 ตาราง ข้อมูลจำเพาะของ สวิตช์ ความต้านทานสุญญากาศสูง ซีรีส์ GN 》

*1: ความยาวโดยรวม = วัดจากปลายสัมผัสถึงปลายตัวเครื่อง (ไม่รวมความยาวสายไฟ)

*2: ลม ความยาว: มม.

คำถามที่พบบ่อยและข้อควรจำ

อุณหภูมิ ทนความร้อน (ขีดจำกัดบนและล่าง)

สวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูงมีขีดจำกัดสูงสุดในการทนความร้อนคือ 120°C และขีดจำกัดต่ำสุดคือ 0°C
เมื่อใช้ในการอบเพื่อไล่แก๊ส สามารถใช้ความร้อนได้ถึง 120°C นานประมาณ 2 ชั่วโมงโดยไม่มีปัญหาใดๆ

ความเร็ว การทำงาน และการสั่นสะเทือน

ควรหลีกเลี่ยงการใช้ความเร็วในการทำงานต่ำที่ 10 มม./นาที หรือต่ำกว่านั้น เนื่องจากอาจเกิดการสั่นสะเทือนได้

การสัมผัส ชีวิต

สามารถใช้สำหรับการเปลี่ยนสถานะเปิด-ปิดได้ ถึง 3 ล้านครั้ง

แรงบิดในการขันน็อตและสกรูขณะติดตั้ง

แรงบิดในการขันน็อตและสกรูขณะติดตั้งสวิตช์ควรอยู่ที่ 1 นิวตันเมตร

เรื่องราวความสำเร็จและ ตัวอย่างการใช้งาน

 

ส่วนนี้จะนำเสนอเรื่องราวความสำเร็จของสวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง โดยจำแนกตามอุตสาหกรรม การใช้งาน และชิ้นงาน

อุตสาหกรรม:

• เซมิคอนดักเตอร์
• แผง LCD
• จอ OLED
• การบินและอวกาศ

ตัวเรือน ศึกษา/การประยุกต์ใช้:

การใช้งานด้านการกำหนดตำแหน่งต่อไปนี้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศเป็นเรื่องปกติ
• การค้นหาจุดกำเนิดของ ชิ้นงาน
• การวาง ชิ้นงาน
• การกำหนดตำแหน่ง ทนสุญญากาศสูง 10⁻⁵ Pa

ชิ้นงานที่สามารถตรวจจับได้:

• วัสดุพื้นผิว ได้แก่ แก้ว โลหะ และพลาสติก

ตัวอย่างการนำไปใช้งานจริง:

• การจัดวางตำแหน่งแท่นวางภายในห้องสุญญากาศ
• การจัดตำแหน่ง ชิ้นงาน ภายในอุปกรณ์การตกตะกอนแบบสุญญากาศ
• อุปกรณ์สปัตเตอร์ริ่ง
• การจัดวางตำแหน่งภายในอุปกรณ์การผลิตฟิล์มบาง
• การจัดวางตำแหน่งแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
• แท่นวางตำแหน่งที่ใช้งานร่วมกับ สุญญากาศ ได้
• ตรวจสอบความพอดีของหน้ากากกับตัวยึดพื้นผิว (แคตตาล็อก)

ตัวอย่างการปรับปรุงด้วยสวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง

ตัวอย่างการนำไปใช้ 1: การกำหนดตำแหน่งโต๊ะ XY สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ประเด็นปัญหา

• แกน XY เลื่อนไปเล็กน้อยประมาณไม่กี่ไมครอนเนื่องจากความร้อนที่เกิดขึ้นเอง
• ไมโครเซนเซอร์ตรวจจับแสงไม่สามารถระบุแหล่งกำเนิดได้อย่างแม่นยำ

หลังจากการปรับปรุง

• การตรวจจับตำแหน่งของโต๊ะ ความแม่นยำ สามารถทำได้ด้วยสวิตช์สัมผัส ชนิด สัมผัส

ตัวอย่างการนำไปใช้ที่ 2: การยืนยันการติดตั้ง แผ่นฐานแก้ว

ประเด็นปัญหา

• ตัวเชื่อมต่อสุญญากาศแบบพิเศษมีราคาแพง โดยมีราคามากกว่า 2,000 ดอลลาร์สหรัฐ
• จำเป็นต้องติดตั้งพอร์ตแสดงผล

* เซ็นเซอร์ใยแก้วสุญญากาศแบบโปร่งใส หรือเซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่ จากผู้ผลิตรายอื่น มีจำหน่ายเป็นสินค้าทดแทน
อย่างไรก็ตาม เมื่อเปรียบเทียบกับ สวิตช์ ความต้านทานสุญญากาศสูง ซึ่งโดยทั่วไปมีราคาประมาณ 300-500 ดอลลาร์สหรัฐ เซ็นเซอร์ไฟเบอร์จะมีราคาสูงกว่ามาก โดยอยู่ที่ 2,000-5,000 ดอลลาร์สหรัฐ หรือมากกว่านั้น ต่อ แบบมีสาย รวมทั้งตัวขยายสัญญาณด้วย

หลังการปรับปรุง:

• ไม่จำเป็นต้องใช้ตัวเชื่อมต่อสุญญากาศแบบพิเศษและราคาแพง
• สามารถประหยัดค่าใช้จ่ายได้โดยไม่ต้องกำหนดให้มีพอร์ตแสดงผล

ตัวอย่างการนำไปใช้ 3: การค้นหาต้นทางของผู้ให้บริการขนส่ง

ประเด็นปัญหา

• ฉันต้องการหาจุดกำเนิดของตัวลำเลียงแบบเลื่อนโดยใช้จุด 2 จุดบนพื้นผิวด้านล่างและด้านข้าง

หลังการปรับปรุง:

• การฝังสวิตช์สัมผัส ชนิด ลูกบอลเข้าไปในอุปกรณ์จับยึด ทำให้สามารถออกแบบระบบกำหนดตำแหน่งพื้นผิวด้านล่างของที่นั่งได้
• ออกแบบมาเพื่อค้นหาจุดกำเนิดที่มีความแม่นยำสูงบนพื้นผิวด้านข้าง โดยใช้สวิตช์ ชนิด สัมผัสตรง

ข้อมูล การสัมผัส และผลิตภัณฑ์

"การสัมผัส"
วิศวกรของเราพร้อมตอบคำถามใดๆ เกี่ยวกับวิธีการใช้งานผลิตภัณฑ์ หรือคำขอปรับแต่งผลิตภัณฑ์ตามความต้องการของคุณ
เราจะสามารถให้การสนับสนุนที่ดีที่สุดได้ หากคุณให้รายละเอียดเกี่ยวกับ แอปพลิเคชัน สภาพแวดล้อมการใช้งาน และประเภทของ ชิ้นงาน ที่จะตรวจจับ
โปรดใช้แบบฟอร์มติดต่อด้านล่างนี้เพื่อติดต่อเรา

ข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับสวิตช์ความต้านทานสุญญากาศสูง:

กรุณากรอกแบบฟอร์มด้านล่างเพื่อดาวน์โหลดแคตตาล็อก

《สถานที่ถ่ายทำ》
คลิกที่นี่เพื่อไปยังเว็บไซต์ของซีรีส์ GN